一、背景介紹

光子器件和電子器件發(fā)展模式類似，都是從分立器件到微米集成然后到納米集成。集成光子回路是集成電子回路的類比，它能在片上完成光信息的產(chǎn)生、傳輸、處理和探測。其中，片上微納激光器可以為集成光子回路提供相干光源，產(chǎn)生光信息。同商用激光器一樣，微納激光器由增益材料、諧振腔和泵浦源三個(gè)部分組成。

膠質(zhì)量子點(diǎn)是一種半導(dǎo)體納米晶體，被廣泛用作微納激光器的增益材料?；诩{米尺寸（約2到20 nm）膠質(zhì)量子點(diǎn)的可溶液處理的特點(diǎn)，膠質(zhì)量子點(diǎn)可以作為發(fā)光的納米“積木"。這種納米“積木"通過自組裝的方式可密集堆積形成高折射率微納結(jié)構(gòu)，形成波導(dǎo)、諧振腔等納米光子器件。

二、膠質(zhì)量子點(diǎn)激光器

1、基于自組裝方法的膠質(zhì)量子點(diǎn)微納激光器

膠質(zhì)量子點(diǎn)可充當(dāng)納米積木，采用簡單的無模板自組裝方法可制備諧振腔。例如，通過旋涂、滴涂或打印等方法得到致密堆積量子點(diǎn)，形成裂縫隨機(jī)反饋腔、法布里-珀羅腔、不規(guī)則的微片腔、咖啡環(huán)環(huán)形腔等微納結(jié)構(gòu)，在光泵浦作用下，實(shí)現(xiàn)微納片上激光器。

但這類膠質(zhì)量子點(diǎn)激光器一般存在兩種不足。一種是形狀和尺寸均不可控，導(dǎo)致激光模式和激光波長不可控。例如，德國埃爾朗根-紐倫堡大學(xué)Wolfgang Heiss教授課題組利用膠質(zhì)量子點(diǎn)膜的起伏或者裂縫提供反饋實(shí)現(xiàn)了量子點(diǎn)隨機(jī)激光器，但是起伏、裂縫以及反饋路徑是隨機(jī)的，因此諧振腔的形狀和尺寸都不可控。另一種是諧振腔的形狀得到很好的控制，但是其尺寸不可控。這種情況也導(dǎo)致微納激光器的波長難以控制，比如膠質(zhì)量子點(diǎn)的自組裝形成的法布里-珀羅激光器、微球激光器、微泡激光器、咖啡環(huán)微腔激光器等。

2、基于微納刻蝕方法的膠質(zhì)量子點(diǎn)微納激光器

無模板的膠質(zhì)量子點(diǎn)自組裝方法也可以結(jié)合自上而下(Top-Down)的微納刻蝕工藝（比如電子束刻蝕、反應(yīng)離子束刻蝕等等），對自組裝的膠質(zhì)量子點(diǎn)膜進(jìn)行刻蝕，實(shí)現(xiàn)諧振腔結(jié)構(gòu)的形狀、尺寸可控，從而獲得激光模式、波長、偏振、方向性可控的膠質(zhì)量子點(diǎn)激光器。

例如，比利時(shí)根特大學(xué)Dries Van Thourhout教授課題組通過多次沉積和旋涂過程，制備氮化硅/膠質(zhì)量子點(diǎn)/氮化硅三明治結(jié)構(gòu)，然后采用反應(yīng)離子束刻蝕該三明治結(jié)構(gòu)得到膠質(zhì)量子點(diǎn)/氮化硅微盤激光器。

此外，該課題組采用同樣的工藝，在氮化硅/膠質(zhì)量子點(diǎn)/氮化硅三明治結(jié)構(gòu)上加工分布反饋光柵，實(shí)現(xiàn)了膠質(zhì)量子點(diǎn)分布反饋激光器。

雖然這個(gè)兩個(gè)工作實(shí)現(xiàn)了諧振腔的形狀和尺寸較精確的控制，但是加工過程步驟繁瑣，而且對膠質(zhì)量子點(diǎn)造成了損傷(熒光強(qiáng)度下降80 %)。另外，采用電子束曝光、聚焦離子束刻蝕等一些常見的微納刻蝕方法刻蝕膠質(zhì)量子點(diǎn)膜，也會(huì)造成量子點(diǎn)發(fā)光強(qiáng)度的衰減，進(jìn)而影響膠質(zhì)量子點(diǎn)激光器的性能。

3、基于模板輔助方法的膠質(zhì)量子點(diǎn)微納激光器

為了實(shí)現(xiàn)形狀、尺寸可控的微納激光器，并且避免對膠質(zhì)量子點(diǎn)造成損傷，國內(nèi)外研究者提出采用模板輔助的膠質(zhì)量子點(diǎn)自組裝方式加工微納激光器。這種方式采用微納加工的方法先制備模板，然后采用打印或者滴涂的方法使膠質(zhì)量子點(diǎn)在模板輔助下自組裝形成微納激光器。

例如，瑞士蘇黎世聯(lián)邦理工學(xué)院David J. Norris教授課題組先制備銀諧振腔，然后采用打印技術(shù)在諧振腔中打印膠質(zhì)量子點(diǎn)條，實(shí)現(xiàn)了膠質(zhì)量子點(diǎn)激光器。

此外，北京大學(xué)陳建軍課題組提出采用模板輔助填充法，在聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)膜上采用電子束曝光獲得凹槽模板結(jié)構(gòu)，然后將膠質(zhì)量子點(diǎn)溶液滴到PMMA模板上。由于毛細(xì)作用，膠質(zhì)量子點(diǎn)溶液會(huì)填充到PMMA凹槽中，待溶劑揮發(fā)后密集堆積形成固態(tài)結(jié)構(gòu)。

由于膠質(zhì)量子點(diǎn)的堆積是微納加工的最后一步，不需要后續(xù)的模板剝離操作，因此避免了加工過程對膠質(zhì)量子點(diǎn)的影響。該課題組采用這種方法實(shí)現(xiàn)了膠質(zhì)量子點(diǎn)微盤激光器和波導(dǎo)環(huán)形諧振腔激光器。

三、膠質(zhì)量子點(diǎn)激光器的片上集成

在光子集成回路中，片上微納激光器發(fā)出的激光需要通過波導(dǎo)耦合到片上功能器件中，這種耦合是通過隱失場耦合實(shí)現(xiàn)的，而隱失場范圍只有百納米量級，因此精確控制微納激光器和波導(dǎo)的間距至關(guān)重要。間距太大，耦合弱；間距太小，微納激光器的損耗變大，影響激光性能。

比利時(shí)根特大學(xué)Dries Van Thourhout教授課題組實(shí)現(xiàn)了膠質(zhì)量子點(diǎn)激光器和氮化硅波導(dǎo)的集成。但是加工過程較為繁瑣，且會(huì)對膠質(zhì)量子點(diǎn)造成損傷。

而基于模板輔助的膠質(zhì)量子點(diǎn)自組裝方法可以實(shí)現(xiàn)膠質(zhì)量子點(diǎn)激光器和片上波導(dǎo)的無損、可控的集成。例如，北京大學(xué)陳建軍課題組基于電子束刻蝕的可控性和靈活性提出了模板輔助填充法，實(shí)現(xiàn)了膠質(zhì)量子點(diǎn)激光器和多個(gè)功能器件的精確集成。

該課題組還開發(fā)了一種高精度的暗場光學(xué)成像定位技術(shù)(定位精度約20 nm)，結(jié)合模板輔助填充法，在實(shí)驗(yàn)上實(shí)現(xiàn)了膠質(zhì)量子點(diǎn)微盤激光器和銀納米線表面等離激元波導(dǎo)的精確耦合。這個(gè)工作對于實(shí)現(xiàn)高集成密度的光子-表面等離激元復(fù)合光子集成回路方面具有重大研究意義。

四、總結(jié)

在常見的膠質(zhì)量子點(diǎn)微納激光器制備方法中，基于模板輔助的膠質(zhì)量子點(diǎn)自組裝方法，既可以實(shí)現(xiàn)無損可控的膠質(zhì)量子點(diǎn)激光器，又可以實(shí)現(xiàn)膠質(zhì)量子點(diǎn)激光器和片上波導(dǎo)以及回路的確定性集成，對于實(shí)現(xiàn)集成光子回路具有重要的指導(dǎo)意義。

現(xiàn)代信息和集成光學(xué)的高速發(fā)展對于多功能化光學(xué)元件和集成密度的需求越來越高。因此，功能化的膠質(zhì)量子點(diǎn)微納激光器和新的微納加工及集成工藝需要進(jìn)一步研究。

以上介紹的膠質(zhì)量子點(diǎn)微納激光器都是用脈沖光泵浦的，但電泵浦的膠質(zhì)量子點(diǎn)微納激光器更切合實(shí)際應(yīng)用，未來電泵浦方式的實(shí)現(xiàn)可結(jié)合材料、工藝和物理機(jī)制等多方面來研究。

參考文獻(xiàn)： 中國光學(xué)期刊網(wǎng)

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